VAPOR DEPOSITION METHODS FOR FORMING A METAL-CONTAINING LAYER ON A SUBSTRATE,申请号KR20097016849-传众专利搜索

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发明名称	VAPOR DEPOSITION METHODS FOR FORMING A METAL-CONTAINING LAYER ON A SUBSTRATE
摘要
申请公布号	KR101179774(B1)	申请公布日期	2012.09.04
申请号	KR20097016849	申请日期	2008.01.25
申请人		发明人
分类号	C23C16/40;C23C16/455;H01L21/316	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
主权项
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