SHOWER PLATE AND PLASMA PROCESSING DEVICE USING THE SAME,申请号KR20107019374-传众专利搜索

发明名称	SHOWER PLATE AND PLASMA PROCESSING DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号	KR101179065(B1)	申请公布日期	2012.09.03
申请号	KR20107019374	申请日期	2009.03.06
申请人		发明人
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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