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发明名称
Method of manufacturing phase change RAM device
摘要
申请公布号
KR101178835(B1)
申请公布日期
2012.09.03
申请号
KR20050132230
申请日期
2005.12.28
申请人
发明人
分类号
H01L27/115
主分类号
H01L27/115
代理机构
代理人
主权项
地址
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