发明名称 重物旋转装置
摘要 本发明提供一种小型的重物旋转装置,其系使测试头等之重物的重心与旋转支点之轴线上之间缩短,且旋臂及驱动装置系位于重物之旋转支点的轴线方向宽度内。;为此,驱动装置12系构成有游星齿轮式减速机24,且该游星齿轮式减速机24具有:圆柱形之内齿齿轮体21,其系作为固定部;转子轴17c,其系作为转动输入部;轴23,其系包含具有与上述旋臂11之旋转支点轴线A正交之正交平面之作为转动输出部之第二端板23c;及,其系被配置于上述内齿齿轮体21与上述轴23之间,作为一对前段、后段滚动轴承之主轴承254a、24b。并且,驱动装置12尚构成有马达17,且该马达17内建有:定子17b,其系具有线圈部17a;及转子轴17c,其系在与作为上述游星齿轮式减速机24之转动输入部之转子轴17c之轴线A相同轴线上连结。此外,旋臂11包含:第一平面11a,其系结合于作为转动输出部之轴23,即第二端板23c之平面;及第二平面11b,其系与上述测试头5等构成之重物结合、位于旋转支点的上述轴线A上靠近重物侧,并与上述第一平面11a正交。并且,上述旋臂11及上述驱动装置12被配置于旋臂11之旋转支点之轴线A方向上重物5之宽度D内。
申请公布号 TWI371814 申请公布日期 2012.09.01
申请号 TW094111415 申请日期 2005.04.11
申请人 东京威力科创股份有限公司 日本;纳博特斯克股份有限公司 日本 发明人 秋山收司;弓达利博;山田浩史;龟田修宏
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本