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发明名称
一种场发射阴极之制备方法
摘要
本发明涉及一种场发射阴极之制备方法,该方法包括下列步骤:提供一基板,于该基板上沈积一金属层;于金属层表面形成复数凹槽;对金属层表面进行氧化处理,形成一金属氧化物层;去除复数凹槽底部之金属氧化物层;于凹槽底部设置一层金属盐溶液;于凹槽底部生长奈米碳管。
申请公布号
TWI371773
申请公布日期
2012.09.01
申请号
TW094146314
申请日期
2005.12.23
申请人
鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号
发明人
董才士
分类号
H01J37/073
主分类号
H01J37/073
代理机构
代理人
主权项
地址
新北市土城区自由街2号
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