| 摘要 |
本发明系有关于用具有不同的能量束特性之雷射束脉冲来照射一薄膜样本的系统及方法，该等能量束特性是经由不同的光学路径来产生及传输的。举例性的方法包括的步骤有：产生复数具有能量束特性的电射束脉冲，将一被产生的雷射束脉冲导引到一第一光学路径上，调整该被第一光学路径导引之雷射束脉冲的能量束特性，用该被第一光学路径导引之雷射束脉冲来照射该薄膜的一第一区域的至少一部分用以诱发该第一区域的该部分的结晶，将一被产生的雷射束脉冲导引到一第二光学路径上，调整该被第二光学路径导引之雷射束脉冲的能量束特性，其中该被第二光学路径导引之电射束脉冲的能量束特性不同于该被第一光学路径导引之电射束脉冲的能量束特性，及用该被第二光学路径导引之雷射束脉冲来照射该薄膜的一第二区域的至少一部分用以诱发该第二区域的该部分的结晶。一举例性系统包括一第一光学路径，一第二光学路径，一光束转向元件用来将雷射束脉冲导引到该第一光学路径及该第二光学路径；及一操作台用来控制一薄膜相对于经由该第一及第二光学路径导引之电射束脉冲的位置。 |
