加热处理装置、加热处理方法、及电脑可读取之记忆媒体

摘要

一种加热处理装置，即使基板为大型的情形仍能确实地防止基板损坏，同时，能达成单位时间之处理量之提升。;加热处理装置28，具备：滚子输送机构5，作为使基板G于一方向输送之输送路；及加热机构7，使在输送路输送的基板G予以加热；加热机构7，沿着输送路从输送方向上游侧起配置预备加热部7a与主加热部7b而成，主加热部7b设定为第1温度，预备加热部7a设定为较第1温度为高之第2温度，基板G，于预备加热部7a加热至第1温度附近后，于主加热部7b以第1温度加热。