发明名称 剥离方法及剥离装置
摘要 本发明的课题是提供可更简化从层积体进行剥离支撑板的装置构成,又可作成装置的省空间化,又可作成短时间的剥离支撑板的剥离装置者。;其解决手段为,剥离装置是至少具有:搬运机器人1,及被配置于搬运机器人1的周围的收纳盒3,及剥离机构4,及洗净机构5,剥离机构4是具备:吸附保持层积体的夹持板10及从层积体剥离支撑板的剥离板20,夹持板10是作成在保持层积体之状态下在垂直面内可翻转180°且朝上下方向可昇降移动的构成。
申请公布号 TWI371790 申请公布日期 2012.09.01
申请号 TW095144096 申请日期 2006.11.29
申请人 东京应化工业股份有限公司 日本 发明人 中村彰彦;宫成淳;稻尾吉浩
分类号 H01L21/304;H01L21/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本
您可能感兴趣的专利