辐射系统及包含该辐射系统之微影装置

摘要

本发明揭示一种用于一远紫外线微影系统中之光学感应器装置。该装置包括：一光学感应器，其包含一感应器表面；及一移除机件，其经组态以自该感应器表面移除碎片。因此，可针对微影系统而方便地执行剂量及/或污染物量测。