平面板的保持体

摘要

课题;提供可将被使用于曝光装置等的大型屏蔽或平面镜等平面板予以防止自重弯曲并保持的保持体。;一种保持体，属于由保持平面板6的复数棒状保持构件所构成的保持体，其特征为：上述保持构件是与平面板6接触的部分为平面地构成，而且上述保持构件是由：在偏航、转动及俯仰移动被容许的状态下，对于保持体的基座4以1部位被支撑的第一保持构件2，及在转动与朝第二保持构件延伸的方向的膨胀成为可能的状态下，俯仰及偏航被规制，而对于保持体的基座4以2部位被支撑的第二保持构件3所构成。