气体冲淋器，微影装置及气体冲淋器之使用

摘要

本发明系关于一种调节一光学装置中之至少一种光学路径之气体冲淋器，其中该气体冲淋器包括一具有一用以将气体供应至该光学路径之冲淋器出口面之气体分布室，该气体分布室经组态以将该气体分布至该光学路径，其中该气体分布室包括一大体上锐锥形头端。