基板处理设备以及于该基板处理设备内传送基板的方法

摘要

一种基板处理设备，包括：一传送部，所述传送部将基板载入到一储存部，且所述传送部将基板从储存部取出，一控制单元，其用以控制传送部。传送部包括多数个传送臂及一驱动臂，驱动臂水平地移动每一个传送臂，而基板承载于每一个传送臂上。控制单元控制传送部的移动速度及移动位置，且比对传送臂的移动速度曲线，用以控制每一个传送臂的移动速度。藉由同时驱动传送臂同时到达目标点，使得基板处理设备可降低传送时间，并提高生产力。