发明名称 探针交接装置
摘要 课题;知,对于探针移载机的探针移动,是作业人员以手抓住探针的把手而以人力进行之故,因而重量性负荷施加于作业员,而且有将损伤给予探针的检查针部之虞。;解决手段;本发明的探针交接装置,其特征为:由定位探针移载机而加以固定所用的镇紧手段,及接受探针的臂部,及上下移动上述臂部的上下手段所构成,在上述臂部与上述探针移载机之间交接上述探针。
申请公布号 TWI371587 申请公布日期 2012.09.01
申请号 TW096147258 申请日期 2007.12.11
申请人 协同股份有限公司 日本 发明人 齐藤守弘
分类号 G01R1/067;H01L21/66 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本