抗振型干涉扫描系统及其方法

摘要

一种抗振型干涉扫描系统与其方法，系对和一待测物之表面形貌相关的一高同调性干涉图案之灰度分布进行分析，进而根据分析结果进行具有一特定行程之扫描动作以及锁定和该待测物之表面形貌相关的一低同调性干涉图案之条纹分布，以便当受到外部振动干扰或者是待测物内部自行产生振动时，该待测物之表面形貌得以被精确测得。