Chemical mechanical polishing slurry compositions for polishing metal wirings,申请号KR20080129110-传众专利搜索

发明名称	Chemical mechanical polishing slurry compositions for polishing metal wirings
摘要
申请公布号	KR101178715(B1)	申请公布日期	2012.08.31
申请号	KR20080129110	申请日期	2008.12.18
申请人		发明人
分类号	C09K3/14	主分类号	C09K3/14
代理机构		代理人
主权项
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