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经营范围
发明名称
SINGLE PHASE FLUID IMPRINT LITHOGRAPHY METHOD
摘要
申请公布号
KR101178432(B1)
申请公布日期
2012.08.31
申请号
KR20117022529
申请日期
2004.09.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;B01D19/00;B29C59/02;C23F1/00;G03F;G03F7/00;G03F7/20
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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