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Die Erfindung betrifft neue Metallkomplexe mit N-Amino-Amidinat-Liganden, insbesondere Metallkomplexe mit N,N'-Bis(dimethylamino)-acetamidinat-, N,N'-Bis(dimethylamino)-formamidinat- und N-Dimethylaminoacetamidinat-Liganden sowie ihre Herstellung und Verwendung. Die Metallkomplexe weisen einen fünfgliedrigen Chelatring auf. Die Metallkomplexe werden mit den Metallen aus den Hauptgruppen des PSE aber auch mit Nebengruppenelementen wie Tantal (Ta), Eisen (Fe), Kobalt (Co), Nickel (Ni), Kupfer (Cu) oder (Zink), sowie mit Edelmetalle wie Palladium (Pd) gebildet. Die erfindungsgemäßen Komplexe finden Verwendung als Precursoren zur Herstellung von funktionellen Schichten mittels Gasphasen-Dünnschichtverfahren wie CVD, MO-CVD und ALD. Weiterhin können sie als Katalysatoren für die Olefin-Hydroaminierung und für die Olefin-Polymerisation eingesetzt werden.
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