摘要 |
Elektronenstrahler (10) zur Erzeugung von Elektronenstrahlen mit einer Energie kleiner oder gleich 300 keV, aufweisend ein evakuiertes Gehäuse (1) mit einem durch ein, für die Elektronenstrahlen durchlässiges, Fenster (8) abgedeckten Strahlenaustrittsfenster (6) welches das Gehäuse (1) gegenüber dem atmosphärischen Druck verschließt und wobei das Fenster (8) eine Dicke zwischen 1 und 100 µm aufweist und zum Abführen der durch die durch das Fenster durchtretende und/oder auftreffende Elektronenstrahlung erzeugten Wärme aus einem hoch wärmeableitenden Material besteht, wobei das wärmeableitende Material des Fensters (8) aus einem hochorientierten pyrolytischen Graphit (HOPG, Highly Oriented Pyrolytic Graphite) ausgebildet ist und eine derartige räumliche Ausrichtung seiner Struktur aufweist, dass eine für die Wärmeübertragung besonders gut wärmeleitende Strukturausrichtung mit der Hauptausbreitungsrichtung der Ebene des Fensters übereinstimmt.
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