发明名称 3-D-Magnetsensor
摘要 <p>Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht sich auf einen Magnetfeldsensor, der einen flachen weichmagnetischen Körper aufweist, der auf einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, das ein Magnetsensor-Array mit einer Mehrzahl von räumlich unterschiedlichen Magnetsensorelementen aufweist, die in einer vorbestimmten Konfiguration angeordnet sind. In Gegenwart eines externen Magnetfelds wird der flache weichmagnetische Körper magnetisiert, um ein Reaktionsmagnetfeld zu erzeugen. Die Mehrzahl von Magnetsensorelementen sind jeweils dazu konfiguriert, einen Magnetfeldwert einer Überlagerung des externen Magnetfelds und des Reaktionsmagnetfelds entlang einer ersten Achse (z. B. einer z-Achse) zu messen, woraus sich eine Mehrzahl von räumlich unterschiedlichen Messungen der Magnetfeldkomponente entlang der ersten Achse ergibt. Die Mehrzahl von räumlich unterschiedlichen Messungen kann dazu verwendet werden, Magnetfeldkomponenten des externen Magnetfelds entlang einer Mehrzahl von Achsen (z. B. x-Achse, y-Achse und z-Achse) zu berechnen.</p>
申请公布号 DE102012203001(A1) 申请公布日期 2012.08.30
申请号 DE201210203001 申请日期 2012.02.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 AUSSERLECHNER, UDO
分类号 G01R33/02;G01R33/09;H01L43/06;H01L43/08 主分类号 G01R33/02
代理机构 代理人
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