摘要 |
<p>Ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung bezieht sich auf einen Magnetfeldsensor, der einen flachen weichmagnetischen Körper aufweist, der auf einer Oberfläche eines Substrats angeordnet ist, das ein Magnetsensor-Array mit einer Mehrzahl von räumlich unterschiedlichen Magnetsensorelementen aufweist, die in einer vorbestimmten Konfiguration angeordnet sind. In Gegenwart eines externen Magnetfelds wird der flache weichmagnetische Körper magnetisiert, um ein Reaktionsmagnetfeld zu erzeugen. Die Mehrzahl von Magnetsensorelementen sind jeweils dazu konfiguriert, einen Magnetfeldwert einer Überlagerung des externen Magnetfelds und des Reaktionsmagnetfelds entlang einer ersten Achse (z. B. einer z-Achse) zu messen, woraus sich eine Mehrzahl von räumlich unterschiedlichen Messungen der Magnetfeldkomponente entlang der ersten Achse ergibt. Die Mehrzahl von räumlich unterschiedlichen Messungen kann dazu verwendet werden, Magnetfeldkomponenten des externen Magnetfelds entlang einer Mehrzahl von Achsen (z. B. x-Achse, y-Achse und z-Achse) zu berechnen.</p> |