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发明名称 CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING COMPOSITION AND METHOD FOR USING THE SAME
摘要
申请公布号 MY146598(A) 申请公布日期 2012.08.30
申请号 MY2005PI01241 申请日期 2005.03.22
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 FRANCESCO DE RAGE THESAURO;KEVIN J. MOEGGENBORG;VLASTA BRUSIC;BENJAMIN P. BAYER
分类号 C09G1/02;H01L21/321 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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