发明名称 |
部件供给装置 |
摘要 |
本发明提供一种部件供给装置,其不会使装置长时间地停止,而变更用于推顶贴合于粘合片上的管芯的推针。将贴合于粘合片上的切割晶圆W定位于规定位置上,使安装于推顶头(40)上的推针(50)从粘合片的下方推顶,从而使构成该切割晶圆的管芯D剥离,同时利用吸附头(30)从上方吸附保持该管芯后,向表面安装装置侧供给,在该部件供给装置中,前述推顶头(40)是可以利用旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体,在该旋转体的周围,以规定的旋转角度间隔,朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针(50)。 |
申请公布号 |
CN101436527B |
申请公布日期 |
2012.08.29 |
申请号 |
CN200810177024.9 |
申请日期 |
2008.11.12 |
申请人 |
JUKI株式会社 |
发明人 |
岩濑温资 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
何立波;张天舒 |
主权项 |
一种部件供给装置,其将贴合于粘合片上的切割晶圆定位于规定位置处,将安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶,从而使构成该切割晶圆的管芯剥离,同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯,之后向表面安装装置侧供给,其特征在于,前述推顶头是利用旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体,在该旋转体的周围,以规定的旋转角度间隔,朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针。 |
地址 |
日本东京 |