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发明名称
摘要
申请公布号 JP5014802(B2) 申请公布日期 2012.08.29
申请号 JP20060546542 申请日期 2004.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L27/115;H01L21/336;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
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