发明名称 Polysilazane treating Solvent and Method for treating Polysilazane using the same
摘要
申请公布号 KR101178215(B1) 申请公布日期 2012.08.29
申请号 KR20100032306 申请日期 2010.04.08
申请人 发明人
分类号 C09K13/00;C08L71/00;C11D7/24;H01L21/306 主分类号 C09K13/00
代理机构 代理人
主权项
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