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发明名称
Polysilazane treating Solvent and Method for treating Polysilazane using the same
摘要
申请公布号
KR101178215(B1)
申请公布日期
2012.08.29
申请号
KR20100032306
申请日期
2010.04.08
申请人
发明人
分类号
C09K13/00;C08L71/00;C11D7/24;H01L21/306
主分类号
C09K13/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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