一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置

摘要

本实用新型公开了一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置，包括靶位溅射室、顶盖、进水管、出水管、气管和三通，顶盖设置在靶位溅射室的上方，进水管和出水管设置在顶盖上，进水管和气管分别都与三通连接。采用本实用新型可以在对靶位溅射室进行保养维修时及时地把遗留在冷却水进水管和出水管中的水滴清理干净，避免了冷却水滴滴入靶位溅射室继而影响镀膜玻璃品质的问题，保证了镀膜玻璃的质量，本实用新型操作方便，省时省力。

主权项

一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置，包括靶位溅射室、顶盖、进水管和出水管，顶盖设置在靶位溅射室的上方，进水管和出水管设置在顶盖上，其特征在于，还包括接通外部维修用气体的气管和三通，所述气管通过所述三通连接在所述进水管上。