| 发明名称 |
CAPACITANCE MANOMETERS AND METHODS RELATING TO AUTO-DRIFT CORRECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2137505(B1) |
申请公布日期 |
2012.08.29 |
| 申请号 |
EP20080745571 |
申请日期 |
2008.04.11 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
SULLIVAN, PHILIP;ALCAIDE, DAVID |
| 分类号 |
G01L9/12;G01L9/00;G01L19/02;G01L27/00 |
主分类号 |
G01L9/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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