发明名称 |
一种阶梯降压扩孔制备氧化铝模板的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种阶梯降压扩孔制备氧化铝模板的方法,包括1)抛光后的铝箔作为阳极,铂电极作为阴极,将阳极、阴极放入酸性电解溶液中并连通电源后,进行第一次阳极氧化,氧化时间为1~5h;2)第一次阳极氧化完成后,除去阳极表面的氧化铝膜后,进行第二次阳极氧化,氧化时间为1~5小时;3)第二次氧化完成后,进行阶梯降压处理:阳极、阴极之间的电压按0.5~3V/min的速率降压,直至降到16V以下,然后断开电源;4)阶梯降压处理完成后,将铝箔清洗后放入扩孔液中进行扩孔处理10~60min。该方法能够实现对氧化铝模板的阻挡层厚度、模板孔洞的长度和直径的精确控制;所需设备简单,操作工艺便利,参数易于控制。 |
申请公布号 |
CN102650066A |
申请公布日期 |
2012.08.29 |
申请号 |
CN201210154158.5 |
申请日期 |
2012.05.17 |
申请人 |
西安交通大学 |
发明人 |
杨森;高禄梅;龚俊峰;王洁琼;宋晓平 |
分类号 |
C25D11/12(2006.01)I;C25D11/18(2006.01)I;C25D11/24(2006.01)I;C25D11/16(2006.01)I |
主分类号 |
C25D11/12(2006.01)I |
代理机构 |
西安通大专利代理有限责任公司 61200 |
代理人 |
陆万寿 |
主权项 |
一种阶梯降压扩孔制备氧化铝模板的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)抛光后的铝箔作为阳极,铂电极作为阴极,将阳极、阴极放入酸性电解溶液中并连通电源后,进行第一次阳极氧化,氧化时间为1~5h;2)第一次阳极氧化完成后,除去阳极表面的氧化铝膜后,进行第二次阳极氧化,氧化时间为1~5小时;3)第二次氧化完成后,进行阶梯降压处理:阳极、阴极之间的电压按0.5~3V/min的速率降压,直至降到16V以下,然后断开电源;4)阶梯降压处理完成后,将铝箔用水清洗干净,然后放入扩孔液中进行扩孔处理10~60min。 |
地址 |
710049 陕西省西安市咸宁西路28号 |