一种真空镀膜设备绝缘连接位置的密封圈装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜设备绝缘连接位置的密封圈装置，还包括主连接部件、副连接部件和设置在主连接部件和副连接部件间的绝缘法兰，所述主连接部件与绝缘法兰接触的端面设有第一密封槽，所述副连接部件与连接法兰接触的端面设有第二密封槽，所述第一密封槽和第二密封槽中分别设有密封圈。本实用新型通过分别在主连接部件和副连接部件上设置密封槽，并在密封槽中放入密封圈，提高了连接密封性并保证绝缘法兰的刚性，并利用连接部件的耐高温和自然刚性来确保密封胶圈不发生截面变形和线径变长，保证了真空镀膜设备在长时间运行和配件总成重新安装后良好的密封性。本实用新型可以作为密封圈装置广泛用于真空镀膜设备中。

主权项

一种真空镀膜设备绝缘连接位置的密封圈装置，其特征在于：还包括主连接部件（1）、副连接部件（2）和设置在主连接部件（1）和副连接部件（2）间的绝缘法兰（3），所述主连接部件（1）与绝缘法兰（3）接触的端面设有第一密封槽（4），所述副连接部件（2）与连接法兰接触（3）的端面设有第二密封槽（5），所述第一密封槽（4）和第二密封槽（5）中分别设有密封圈（6）。