金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器

摘要

本发明提出了一种金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，它包括基底、下电极层、压电薄膜、上电极层以及具有与上电极相同形状与面积的暴露在环境中吸附待测物的金纳米多孔敏感膜层。以金纳米多孔膜为敏感材料，可显著提高体声波生物传感器的灵敏度及稳定性；且该传感器工作与常温环境，无需高精度光刻工艺，涉及的材料与制造工艺与现有集成电路制造技术兼容，易于实现阵列化和小型化。可应用于医疗、卫生、食品等领域。

主权项

金纳米多孔敏感膜体声波生物传感器，包括体声波谐振器与敏感膜层，其特征在于，传感器从下至上包括基底、设置在基底上的声反射层、下电极层、压电薄膜层、上电极层和暴露在环境中吸附待测物的金纳米多孔敏感膜层，敏感膜层与上电极层的面积与形状相同。