用于施设多孔的玻璃层的方法

摘要

本发明涉及一种用以施设多孔的玻璃层的方法。本发明建议，借助于PVD法涂覆多孔的玻璃层。可以经由过程参数如压力和沉积率以及通过有针对性地添加杂质改变孔隙度和平均的微孔大小。

主权项

用于施设多孔的玻璃层的方法，包括以下步骤：准备至少一个基材，准备至少一个玻璃靶极作为材料源，借助于PVD法在基材上沉积至少一个具有超过1％的孔隙度的玻璃层，经由沉积率、基材温度和/或过程温度控制所述玻璃层的孔隙度。