APPARATUS FOR SUPPLYING ORGANIC THIN FILM DEPOSITION MATERIAL, METHOD FOR DRIVING THE SAME AND ORGANIC THIN FILM DEPOSITION SYSTEM HAVING THE SAME,申请号KR20070126554-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR SUPPLYING ORGANIC THIN FILM DEPOSITION MATERIAL, METHOD FOR DRIVING THE SAME AND ORGANIC THIN FILM DEPOSITION SYSTEM HAVING THE SAME
摘要
申请公布号	KR101177874(B1)	申请公布日期	2012.08.29
申请号	KR20070126554	申请日期	2007.12.07
申请人		发明人
分类号	C23C16/448;C23C16/00;H01L21/20	主分类号	C23C16/448
代理机构		代理人
主权项
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