发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP2479781(A4) 申请公布日期 2012.08.29
申请号 EP20100816963 申请日期 2010.07.16
申请人 SPP TECHNOLOGIES CO., LTD. 发明人 YAMAMOTO, TAKASHI;IKEMOTO, NAOYA
分类号 H01L21/3065;H01J37/32;H05H1/46 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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