| 发明名称 | MEMS热式流量传感器 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种MEMS热式流量传感器，它包括MEMS热式流量感测芯片和流体通道，所述流体通道的内壁设置有凹槽，所述MEMS热式流量感测芯片安装在所述凹槽内，所述MEMS热式流量感测芯片的敏感面与所述流体通道的内壁表面平齐；所述流体通道是内壁光滑且横截面呈方形的管道。该MEMS热式流量传感器具有结构简单、成本低、易于实现、效果突出、检测结果精确性高的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN202403744U | 申请公布日期 | 2012.08.29 |
| 申请号 | CN201120553292.3 | 申请日期 | 2011.12.27 |
| 申请人 | 郑州炜盛电子科技有限公司 | 发明人 | 张小水;刘建钢;王书潜;祁明锋 |
| 分类号 | G01F1/684(2006.01)I | 主分类号 | G01F1/684(2006.01)I |
| 代理机构 | 郑州红元帅专利代理事务所(普通合伙) 41117 | 代理人 | 黄军委 |
| 主权项 | 一种MEMS热式流量传感器，其特征在于：它包括MEMS热式流量感测芯片和流体通道，所述流体通道的内壁设置有凹槽，所述MEMS热式流量感测芯片安装在所述凹槽内，所述MEMS热式流量感测芯片的敏感面与所述流体通道的内壁表面平齐。 | ||
| 地址 | 450001 河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号 | ||