| 发明名称 | 钌类金属的蚀刻用组合物及其配制方法 | ||
| 摘要 | 一种钌类金属的蚀刻用组合物，至少添加并混合含溴化合物、氧化剂、碱性化合物和水而成，相对于合计质量，所述含溴化合物的添加量以溴元素量计为2~25质量%，氧化剂的添加量为0.1~12质量%，并且pH值为10以上且低于12。能够对钌类金属进行有效蚀刻。 | ||
| 申请公布号 | CN102652188A | 申请公布日期 | 2012.08.29 |
| 申请号 | CN201080055523.6 | 申请日期 | 2010.12.15 |
| 申请人 | 昭和电工株式会社 | 发明人 | 佐藤冬树;齐藤康夫 |
| 分类号 | C23F1/40(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人 | 段承恩;田欣 |
| 主权项 | 一种钌类金属的蚀刻用组合物，其特征在于，至少添加并混合含溴化合物、氧化剂、碱性化合物和水而成，相对于合计质量，所述含溴化合物的添加量以溴元素量计为2~25质量%、氧化剂的添加量为0.1~12质量%，并且所述组合物的pH值为10以上且低于12。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||