电光学装置的制造方法及液状物喷出装置

摘要

本发明提供在向开口宽度不同的凹部充填液状物、除去溶剂来形成功能层的情况下，可将功能层形成为相等的厚度的电光学装置的制造方法及该电光学装置的制造中使用的液状物喷出装置。当制造电光学装置(100)的元件基板(10)时，在制造分辨率低的电光学装置用和分辨率高的电光学装置用的任意一种情形下，均向由隔壁(5b)包围的凹部(5e)内喷出液状物(85)，将液状物充填到凹部内后，从液状物除去溶剂成分形成有机功能层(86)。在进行该工序之际，当凹部的开口宽度(W1)较窄时，向凹部充填功能层形成材料浓度高的液状物以使弯液面鼓出，当凹部的开口宽度(W2)较宽时，向凹部充填功能层形成材料浓度低的液状物以使弯液面鼓出。

主权项

一种电光学装置的制造方法，具备向基板上形成的凹部内喷出溶剂中混合了功能层形成材料的液状物，将该液状物充填到所述凹部内的充填工序；和从该液状物中除去溶剂成分，使所述功能层形成材料固定在所述凹部内的固定工序，其特征在于，在所述充填工序中，作为液状物，充填功能层形成材料浓度根据所述凹部的开口宽度的大小而不同的液状物。