三氯氢硅精馏系统

摘要

本发明公开了一种三氯氢硅精馏系统，包括：第一精馏塔；冷凝器，冷凝器的进口与第一精馏塔的第一上出口相连、出口与第一精馏塔的第一回流口相连；第二精馏塔；第一再沸器，第一再沸器的第一进口与第一精馏塔的第一下出口相连、第一出口与第一精馏塔的第一回气口相连、第二进口与第二精馏塔的第二上出口相连、第二出口与第二精馏塔的第二回流口相连；过冷器，过冷器的进口与第一再沸器的第二出口相连、出口与第二精馏塔的第二回流口相连；第二再沸器，第二再沸器的进口与第二精馏塔的第二下出口相连、出口与第二精馏塔的第二回气口相连。根据本发明实施例的三氯氢硅精馏系统具有产出的三氯氢硅质量高、能耗低、设备投资小等优点。

主权项

一种三氯氢硅精馏系统，其特征在于，包括：第一精馏塔，所述第一精馏塔设有第一上出口、第一下出口、位于所述第一上出口和所述第一下出口之间的第一进料口、第一回流口和第一回气口；冷凝器，所述冷凝器的进口与所述第一上出口相连且所述冷凝器的出口与所述第一回流口相连；第二精馏塔，所述第二精馏塔设有第二上出口、第二下出口、位于所述第二上出口和所述第二下出口之间的第二进料口、第二回流口和第二回气口，所述第一精馏塔的水平高度高于所述第二精馏塔的水平高度；第一再沸器，所述第一再沸器的第一进口与所述第一下出口相连且所述第一再沸器的第一出口与所述第一回气口相连，所述第一再沸器的第二进口与所述第二上出口相连且所述第一再沸器的第二出口与所述第二回流口相连；过冷器，所述过冷器的进口与所述第一再沸器的第二出口相连且所述过冷器的出口与所述第二回流口相连；和第二再沸器，所述第二再沸器的进口与所述第二下出口相连且所述第二再沸器的出口与所述第二回气口相连。