| 发明名称 | 正型抗蚀剂组合物、抗蚀图案形成方法 | ||
| 摘要 | 一种正型抗蚀剂组合物，其用于具有通过使吐出喷嘴与基板相对移动而在基板的整个涂敷面涂敷抗蚀剂组合物的工序的吐出喷嘴式涂敷法，其是将碱可溶性酚醛清漆树脂(A)及含萘醌二叠氮基的化合物(C)溶解于含有碳数6以上的二醇(S1)的有机溶剂(S)而形成的。 | ||
| 申请公布号 | CN102650830A | 申请公布日期 | 2012.08.29 |
| 申请号 | CN201210042952.0 | 申请日期 | 2012.02.23 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 染谷和也;山口敏弘;青木知三郎 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/039(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 翟赟琪 |
| 主权项 | 一种正型抗蚀剂组合物，其用于具有通过使吐出喷嘴与基板相对移动而在基板的整个涂敷面涂敷抗蚀剂组合物的工序的吐出喷嘴式涂敷法，其是将碱可溶性酚醛清漆树脂A及含萘醌二叠氮基的化合物C溶解于含有碳数6以上的二醇S1的有机溶剂S而形成的。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||