移动体驱动方法、图案形成方法、曝光方法以及组件制造方法

摘要

控制装置根据测量移动体WST相对XY平面的倾斜角的干涉仪的测量值，在光栅(39Y1，39Y2)的周期方向使移动体相对XY平面倾斜角度α，根据此倾斜前后的编码器系统(62A，62C)的测量值与角度α的信息，算出光栅表面相对XY平面内的移动体的位置控制的基准的基准面(例如投影光学系统的像面)的阿贝偏移量。接着，控制装置根据编码器系统所测量的XY平面内的移动体的位置信息、及因光栅表面的阿贝偏移量造成的移动体相对XY平面的倾斜角所对应的编码器系统的测量误差，沿着XY平面驱动移动体。

主权项

一种沿着规定平面驱动移动体的移动体驱动方法，其特征在于包括下述步骤：使用包含将测量光束照射于具有把平行于上述平面的规定方向作为周期方向的光栅的标尺、接收来自上述光栅的光束的读头的编码器系统，测量平行于上述平面的面内的上述移动体的位置信息，基于上述位置信息、及因上述标尺的面相对上述移动体的位置控制的基准的基准面在垂直于上述平面的方向的位置的差造成的上述移动体相对上述平面的上述规定方向的倾斜角所对应的上述编码器系统的测量误差的修正信息，沿着上述平面驱动上述移动体。