腔以及成膜装置

摘要

本发明的腔(1)具备：具有搬入基板并进行规定处理的基板处理室的腔部(2)；和设在腔部的外壁面上的可拆装的加强部件(3)。该加强部件是可拆装地安装在外壁面上的板状的接合部件(32)，或是可拆装地安装在外壁面上的肋部件(31)，也可以同时具备这些部件。

主权项

一种真空腔，其特征在于，具备：搬入基板并对基板进行规定处理的腔部；和设在腔部的外壁面上的可拆装的加强部件；在所述腔部的壁面的一部分设有开口，经由该开口在所述加强部件上自由拆装地安装有磁铁。