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发明名称
摘要
申请公布号 JP5013308(B2) 申请公布日期 2012.08.29
申请号 JP20060175508 申请日期 2006.06.26
申请人 发明人
分类号 C03C3/091;C03C3/11;C03C3/118;G02F1/1333;H01J29/86;H01J31/12;H01L51/50;H05B33/02 主分类号 C03C3/091
代理机构 代理人
主权项
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