发明名称
摘要
申请公布号 JP5012632(B2) 申请公布日期 2012.08.29
申请号 JP20080105583 申请日期 2008.04.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/02;H01L21/304 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址