发明名称 放射线敏感性树脂组合物、液晶显示元件用间隔体及其制造方法
摘要 含有使选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少1种和在1个分子中含有至少1个羟基的不饱和化合物的共聚物与ω-(甲基)丙烯酰氧基烷基异氰酸酯反应反应得到的聚合物,以及选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少1种和(a3)具有环氧乙烷基或氧杂环丁基的不饱和化合物的共聚物的放射线敏感性树脂组合物。本发明提供高灵敏度的即使1000J/m2以下的曝光量也得到充分的间隔体形状,可以形成弹性回复性、摩擦耐性、与透明基板的粘合性、耐热性等优异,并且显影性优异,在得到的图案表面上无凹凸状的表面粗糙的液晶显示元件用间隔体的放射线敏感性树脂组合物。
申请公布号 CN101271270B 申请公布日期 2012.08.29
申请号 CN200810086878.6 申请日期 2008.03.20
申请人 JSR株式会社 发明人 一户大吾;杉龙司
分类号 G03F7/028(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G02F1/1339(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/028(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 熊玉兰;李平英
主权项 1.一种放射线敏感性树脂组合物,其特征在于,含有:[A1]成分a1:选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少1种、成分a2:选自甲基丙烯酸2-羟基乙酯和甲基丙烯酸2-(6-羟基己酰氧基)乙酯中的至少一种、与任选使用且选自丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸烷基酯、丙烯酸脂环酯、甲基丙烯酸脂环酯、丙烯酸芳基酯、丙烯酸芳烷基酯、甲基丙烯酸芳基酯、甲基丙烯酸芳烷基酯、不饱和二元羧酸二烷基酯、具有含氧5元杂环或含氧6元杂环的丙烯酸酯、具有含氧5元杂环或含氧6元杂环的甲基丙烯酸酯、乙烯基芳族化合物、共轭二烯类化合物、丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、氯乙烯、偏二氯乙烯和乙酸乙烯酯的至少一种的共聚物,与下式(1)所示的含有异氰酸酯基的不饱和化合物反应得到的聚合物,以及[A2]成分a1:选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少1种、成分a3:选自甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯和3-(甲基丙烯酰氧基甲基)-3-乙基氧杂环丁烷的至少一种、与任选使用且选自丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸烷基酯、丙烯酸脂环酯、甲基丙烯酸脂环酯、丙烯酸芳基酯、丙烯酸芳烷基酯、甲基丙烯酸芳基酯、甲基丙烯酸芳烷基酯、不饱和二元羧酸二烷基酯、具有含氧5元杂环或含氧6元杂环的丙烯酸酯、具有含氧5元杂环或含氧6元杂环的甲基丙烯酸酯、乙烯基芳族化合物、共轭二烯类化合物、丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、氯乙烯、偏二氯乙烯和乙酸乙烯酯的至少一种的共聚物,<img file="FSB00000768695100011.GIF" wi="1427" he="343" />式中,R<sup>1</sup>为氢原子或甲基、n为1~12的整数。
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