具有中间模具的图案复制用装置

摘要

本发明涉及一种用于执行把图案从模板(1)转印到基片目标表面上的两步骤过程的压印装置。该装置通过在第一压印单元(200)内由模板进行压印，例如由柔性聚合物模具(10)生成中间盘状件。然后，操纵给料装置(410)以输送中间模具至第二压印单元(300)，在那里该中间模具用于在基片的目标表面上进行压印。

主权项

用于把模板的构造表面的图案转印到基片的目标表面上的装置，包括：第一压印单元，包括以第一中间间隙相互对置的第一对协作主部以及用于调节所述第一中间间隙的第一施压装置，所述第一压印单元可操作用以在第一压印步骤中把所述模板的所述图案转印给一个盘状件的接收面，第二压印单元，包括以第二中间间隙相互对置的第二对协作主部以及可操作用以调节所述第二中间间隙的第二施压装置，给料装置，可操作用以把所述盘状件从所述第一中间间隙移至所述第二中间间隙，其中，第一支承架承载所述第一对协作主部，第二支承架承载所述第二对协作主部，以及一种固定件保持所述第一和第二支承架处于相互固定关系。