| 发明名称 |
IMPROVING WATER-BARRIER PERFORMANCE OF AN ENCAPSULATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20120096084(A) |
申请公布日期 |
2012.08.29 |
| 申请号 |
KR20127018613 |
申请日期 |
2005.06.06 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
WON, TAE KYUNG;YADAV SANJAY |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C8/36;C23C16/00;C23C16/34;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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