直拉单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种直拉单晶炉，包括晶体提升电机、坩埚转动电机、炉壳、石英坩埚、石墨坩埚和加热器，晶体提升电机设置在炉壳上端，坩埚转动电机设置在炉壳底端，坩埚转动电机位于炉壳内的顶端上设有坩埚托盘，石英坩埚、石墨坩埚和加热器三者从内到外依次套接结构置于炉壳内，加热器固定在炉壳底端上，石墨坩埚固定在坩埚托板上，在石英坩埚与石墨坩埚之间垫有石墨纸。本实用新型提供的直拉单晶炉，将石墨坩埚和石英坩埚用石墨纸隔离开，使一氧化硅直接侵蚀的是石墨纸，能够减少一氧化硅和石英坩埚直接对石墨坩埚的侵蚀，只要定期跟换石墨纸就可以使石墨坩埚的使用寿命提高一至二倍左右，大幅度降低生产成本。

主权项

一种直拉单晶炉，包括晶体提升电机(2)、坩埚转动电机(3)、炉壳(1)、石英坩埚(4)、石墨坩埚(5)和加热器(6)，晶体提升电机(2)设置在炉壳(1)上端，坩埚转动电机(3)设置在炉壳(1)底端，坩埚转动电机(3)位于炉壳(1)内的顶端上设有坩埚托盘(31)，石英坩埚(4)、石墨坩埚(5)和加热器(6)三者从内到外依次套接结构置于炉壳(1)内，加热器(6)固定在炉壳(1)底端上，石墨坩埚(5)固定在坩埚托板(31)上，其特征是在石英坩埚(4)与石墨坩埚(5)之间垫有石墨纸(45)。