| 发明名称 | 清洗装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种清洗装置，包括清洗槽，用于清洗晶圆，还包括置于清洗槽内的：毛刷装置，由电磁继电器控制其开关；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆。本实用新型采用电磁继电器控制毛刷装置的开关，降低了由于气切换或漏气造成的报警，降低机台的停机时间，提高机台的运行时间，同时减少机台故障引起的晶圆缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN202398590U | 申请公布日期 | 2012.08.29 |
| 申请号 | CN201120545821.5 | 申请日期 | 2011.12.22 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 唐强;李佩;林保璋 |
| 分类号 | B08B11/00(2006.01)I;B08B7/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，其特征在于，还包括置于清洗槽内的：毛刷装置，由电磁继电器控制其开关；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||