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发明名称 LIFETIME ESTIMATING METHOD FOR HEATER STRAND, HEAT TREATMENT APPARATUS, RECORDING MEDIUM, AND LIFETIME ESTIMATING PROCESS SYSTEM FOR HEATER STRAND
摘要
申请公布号 KR101177962(B1) 申请公布日期 2012.08.28
申请号 KR20080035037 申请日期 2008.04.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/205;H01L21/66 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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