发明名称 ELECTRON MICROSCOPE AND METHOD OF ESTIMATING DEFOCUS THEREFOR.
摘要
申请公布号 NL2006300(C) 申请公布日期 2012.08.28
申请号 NL20112006300 申请日期 2011.02.25
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT, NULL 发明人 TEJADA RUIZ, ARTURO;DEKKER, ARNOLD JAN
分类号 H01J37/26;H01J37/28 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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