摘要 |
1. Вибрирующая пластина, у которой внешняя форма образована травлением пластины Z, вырезанной под заданными углами относительно взаимно ортогональных осей X, Y и Z, являющихся кристаллическими осями кристалла, содержащая: ! основание, имеющее выемку, и ! вибрирующую консоль, проходящую от основания; ! при этом выемка включает в себя выемку в положительном направлении оси Х, образованную вырезанием основания от стороны отрицательного направления оси Х к стороне положительного направлении оси Х, ! причем ширина в направлении оси Y выемки в положительном направлении оси X достигает максимума на конце со стороны отрицательного направления оси Х выемки в положительном направлении оси Х, ! при этом основание имеет такую форму, что ширина выемки в положительном направлении оси Х постепенно уменьшается от конца со стороны отрицательного направления оси Х к стороне положительного направления оси Х. ! 2. Вибрирующая пластина по п.1, в которой основание имеет наклонный участок, наклоненный таким образом, что ширина выемки в положительном направлении оси Х уменьшается от конца со стороны отрицательного направления оси Х к стороне положительного направления оси Х. ! 3. Вибрирующая пластина по п.2, в которой наклонный участок соединен с одной стороной выемки, расположенной со стороны положительного направления оси Y, а угол между наклонным участком и стороной находится в диапазоне от 3° до 35°. ! 4. Вибрирующая пластина по п.2, в которой наклонный участок соединен с другой стороной выемки, расположенной на стороне отрицательного направления оси Y, а угол между наклонным участком и другой стороной находится в диапазоне от 10° до 30°. |