| 摘要 |
Beschrieben ist ein Abtastmikroskop (10) mit einer Beleuchtungseinheit (12, 15) zum Aussenden eines Beleuchtungslichtstrahls (24), einem Objektiv (34) zum Erzeugen eines länglichen Beleuchtungsfokus (62) in einem abzubildenden Objekt (40) und einer Abtastvorrichtung (20, 22, 26, 28, 30, 38, 58) zum Bewegen des Beleuchtungsfokus (62) über einen zu beleuchtenden Zielbereich des Objektes (40) durch Ändern der Einfallsrichtung, in der der Beleuchtungslichtstrahl (24) in eine Eintrittspupille (36) des Objektivs (34) fällt. Die Abtastvorrichtung (20, 22, 26, 28, 30, 38, 58) richtet den Beleuchtungslichtstrahl (24) zum Schrägstellen des Beleuchtungsfokus (62) relativ zur optischen Achse (O) des Objektivs (34) auf einen aus der Pupillenmitte versetzten Teilbereich der Eintrittspupille (36) und ändert die Einfallsrichtung des Beleuchtungslichtstrahls (24) innerhalb dieses Teilbereichs, um den Beleuchtungsfokus (62) über den zu beleuchtenden Zielbereich zu bewegen. |
