发明名称 LIQUID MATERIAL CARBURETOR, AND FILMING DEVICE USING THE CARBURETOR
摘要
申请公布号 KR101176737(B1) 申请公布日期 2012.08.23
申请号 KR20107013745 申请日期 2008.12.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/448;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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